ATS无线晶圆校准与测量系统-瑞乐科技

ATS无线晶圆校准与测量系统巧妙地融合了机器视觉与传感器模块，将其集成于晶圆之上，从而能够精准捕捉晶圆的偏移数据（包括x轴和y轴）。这一创新功能使得晶圆传输位置的快速校准成为可能，为半导体制程提供了无与伦比的晶圆定位精度。

产品亮点：

1. 实时测量反馈：系统能够即时提供测量参数，助力操作人员迅速调整并优化生产流程，进而有效降低耗材成本。
2. 精准校准保障：通过提供准确的晶圆传输坐标，确保晶圆在生产流程中的精确定位，对于提升整体制造效率和产品质量起到了至关重要的作用。
3. 无线操作便捷性：ATS系统采用无线操作模式，减少了物理连接的限制，使得晶圆传输和处理更为灵活高效。
4. 工艺调整与验证支持：系统能够分析在特定工艺条件下收集的参数数据，以便调整工艺步骤，确保达到最佳性能。
5. 轻巧设计适应性：ATS系统设计轻巧，适用于多种设备和应用环境，尤其在空间有限的场所展现出极高的灵活性和便利性。
6. 低功耗长久运行：凭借低功耗特性，系统能在保持高性能的同时实现长时间稳定运行。