碳化硅载盘（也成碳化硅托盘）在半导体行业具有广泛应用，CVD、RTP/RTA、真空溅射、刻蚀、蒸镀、气体沉淀等，比如，在对衬底进行刻蚀时，需通过碳化硅载盘承载半导体衬底。 碳化硅载盘材质成分是纯SiC（纯度＞99.9%），与石墨基载盘相比，其使用寿命是后者的四倍，且长期使用不变形，稳定性好，能够耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀（比如FH酸、浓H2SO4）。SiC载...
