【快速退火炉】采用先进微电脑控制技术和PID闭环控温，可以达到比较高的控温精确度温度均匀性，还可根据客户工艺标准配置真空室或多路气体。
快速退火炉使用卤素红外线灯作为热源，利用较快的升温速度将晶圆或材料迅速加热至300°C-1200°C，进而解决晶圆或材料的一部分缺陷，提高了产品特性。
快速退火炉（芯片热处理设备）广泛应用于IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体、功率器件等各种芯片产品的生产，以及欧姆接触的快速合金化、离子注入退火、氧化物生长、应力浮雕在致密化、致密化等工艺中，使用快速热处理来改善晶体结构和光电性能，主要技术指标高，工艺复杂，特异性强。
【快速退火炉】硬件进行更换
1、加热灯进行更换：加热灯超出使用期限或不亮要更换新的。加热灯使用期限为3000h，高温环境它的使用寿命也会降低。
2、真空泵油进行更换：使用过程中，请每季度观察一次真空油表。当油量表显示油量小于1/3时，请将真空泵润滑油加到油量表的一半以上。
3、热电偶进行更换：测温异常或损坏时就需要换热电偶。热电偶正常使用寿命为3个月，它的使用寿命因外部环境因素而缩减。
4、进行更换O型圈：O型圈表面是明显严重损坏不能密封时，就需要换O型圈。它的使用寿命受外力和温度条件的限制。