什么叫探针台？
探针台是放置晶圆然后进行温度控制的平台。它一般配备有很多微细探针，用以与晶圆表层的指定区域触碰，并进行温度测量和电性能测试。【TC Wafer】
探针台的运行基本原理取决于通过探针与被测器件上的PAD点精准对位，并实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈，最后获取和采集测试数据。高低温真空探针台能够很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整体测试过程中，工程师们向往以最快的时间获取可信赖的测试数据。
高低温晶圆探针台要确保
1）温度的均匀稳定性；为晶圆测试提供精确的温度环境，既反应探针台机械的稳定性，又是影响测试数据真实结果的关键；
2）升降温速率；探针台的升降温速率是一项关键的指标。低温测试时，防止空气中水蒸气在样品上凝结成露水，从而减少漏电过大或探针没法触碰电极而使测试失败。与此同时，在真空环境中，传热的形式影响下，能更高效的提高制冷效率。高温测试时，在真空环境下，也可以最大限度地减少样品氧化，从而减少样品电性误差、物理和机械上的形变。
【TC Wafer】
瑞乐科技TC-Wafer高低温探针台晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布状况，还能够监控半导体行业控温环节中晶圆所发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温环节中设备实效性。
瑞乐科技还提供了整个试验室流程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。
广东瑞乐科技专注于高精度温测、温控设备的生产和研发定做，为半导体行业提供科学的国产解决方法，更多有关TC Wafer咨询请关注瑞乐官网。