蓝色宝石晶片退火的方式蓝宝石晶体(Al2O3)是超高亮度的蓝、白光LED发光材料GaN常用的衬底材质，而GaN嘉晶的晶体质量与所使用的监宝石衬底(基板)表面加工质量密切相关，尤其是图形化衬底(PSS)与晶片的表面形貌、翘曲程度联系密切，与此同时，晶片的翘曲程度过大，会到平片做GaN磊晶时，平片与外延薄膜脱落，PSS难以聚焦，影响外延品质。在蓝宝石衬底的切害I]、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中，虽然部份的加工应力会到下一道加工工序释放出来，但这种应力释放是无序释放出来，与此同时未释放出来的加工应力会到晶片表面集聚，【晶圆测温系统】影响蓝色宝石晶片的翘曲程度，严重的翘曲会到后道加工过程产生破片，影响整个加工循环的晶片质量。蓝宝石衬底在加工过程中，需要经过退火处理以降低加工应力，当前的退火工艺采用一步升温至退火温度，没有经过过程保温，加工应力释放不均匀，且蓝色宝石晶片在退火炉中始终不动，炉子的温度场对加工释放出来均匀性影响较大，对大尺寸的蓝色宝石晶片影响更为明显。【晶圆测温系统】
【晶圆测温系统】要解决的技术问题是提出一种高质量的蓝色宝石晶片退火方法，适用于对蓝色宝石切割片、双面研磨片、单片研磨片和抛光片。该发明可以使得蓝色宝石在切割、研磨和抛光中产生的加工应力释放均匀、充分，可以减小温度场对加工应力释放的影响。本发明所使用的技术方案为一种蓝色宝石晶片的退火方法，在退火过程中，分阶段升温、保温，并在退火过程中，适度旋转蓝色宝石晶片，该方法使得蓝色宝石在切割、研磨和抛光中产生的加工应力释放均匀、充分，可以减小温度场对加工应力释放的影响。
