【RTP快速退火炉】维修快速退火炉的注意事项如下

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1.在首次使用或长时间不使用炉子后,需要将其在大约120℃的温度下烘烤1小时,然后在大约300℃的温度下烘烤2小时才能开始使用,避免炉膛破裂的情况发生。为了保护加热元件及炉衬的完好,应尽量避免超过额定温度的炉温。同时,严禁将各种液体或溶解金属直接倒入炉膛内,保持炉内的清洁。

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2.如果炉膛使用石英管,当温度超过1000℃时,石英管的高温区域会出现失去透明度的问题,这被称为失透(也叫析晶性),它是石英管固有的缺陷之一,属于正常现象。

3.温速率应逐渐增加。此外,冷炉在使用时应注意保持适当的通风,避免炉内的热量聚集过多。同时,对于冷炉的操作者来说,要注意正确操作,遵守相关安全规定,确保炉子的正常运行。

升温速率的差异不宜过大,设定升温速率时需要充分考虑烧结材料的物理化学特性,以避免发生喷料现象,污染炉管。

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4.应定期检查温度控制系统的电器连接部分,确保连接良好。需要特别关注加热元件的各连接点是否紧固。RTP快速退火炉

5.使用炉子一段时间后,如果真空度下降,可以采取以下措施来提高系统的整体真空度:更换耐温硅胶圈,这些圈位于不锈钢法兰盘之间,或重新安装不锈钢法兰盘,或更换或修理真空系统。

6.当炉子在工作过程中出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大时,通常会在约300℃左右。如果控制偏差仍然存在,我们需要检查参数"M5、P、t"的设置是否准确。

7.这个炉子适合以下工作环境:

(1)

环境温度范围为-10℃至75℃。

(2)

周围环境的湿度不能超过85%。

(3)RTP快速退火炉

炉子周围没有可导电的灰尘,也没有可能引发爆炸的气体,也没有会严重损坏金属或绝缘材料的腐蚀性气体。

(4)

没有明显的倾斜、晃动和颠簸。

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